VPSA制氧机工艺原理：

VPSA是英文VACUUM PRESSURE SWING ADSORPTION的缩写，即穿透大气压真空解吸流程 ，VPSA是利用吸附材料实现气体的分离，这种吸附材料通常是分子筛，对不同的气体有不同的吸附力，在不同的工作压力下有不同的吸附量。VPSA制氧用的分子筛对氮气、二氧化碳、水蒸气有吸附作用，而且在较高压力下分子筛的吸附容量很大，在低压或负压时其吸附容量则很小。
利用上述原理，通过空气吸入—加压吸附—减压解吸—负压再生等步骤，VPSA可生产出一定纯度的单一气体。一种双床VPSA制氧系统为例，说明VPSA的制氧循环过程。所示VPSA制氧系统为例，系统在两个吸附塔中装有制氧分子筛，该分子筛选择性地吸收氮气、水、二氧化碳和碳氢化合物，而让氧气(微量的氧气分子被吸收)和氩气分子通过分子筛表面获得产品气体。当分子筛遇到有压力的环境空气时，它就开始吸附。过了一些时间后，分子筛将被所吸附的分子添满（主要是氮分子筛），称为饱和。此时必须再生，也就是将分子筛中的废气排除，使分子筛活化。分子筛的再生是通过降低吸附塔的压力，将其解析出来排至大气中。